CVD TaC beläggning

Introduktion till CVD TaC Coating:

CVD TaC Coating är en teknologi som använder kemisk ångavsättning för att avsätta tantalkarbid (TaC) beläggning på ytan av ett substrat. Tantalkarbid är ett högpresterande keramiskt material med utmärkta mekaniska och kemiska egenskaper. CVD-processen genererar en enhetlig TaC-film på ytan av substratet genom gasreaktion.

Huvuddrag:

Utmärkt hårdhet och slitstyrkaTantalkarbid har extremt hög hårdhet och CVD TaC Coating kan avsevärt förbättra underlagets slitstyrka. Detta gör beläggningen idealisk för applikationer i miljöer med hög slitage, såsom skärverktyg och formar.

Hög temperatur stabilitet: TaC-beläggningar skyddar kritiska ugns- och reaktorkomponenter vid temperaturer upp till 2200°C, vilket visar god stabilitet. Den upprätthåller kemisk och mekanisk stabilitet under extrema temperaturförhållanden, vilket gör den lämplig för högtemperaturbearbetning och applikationer i högtemperaturmiljöer.

Utmärkt kemisk stabilitetTantalkarbid har stark korrosionsbeständighet mot de flesta syror och alkalier, och CVD TaC Coating kan effektivt förhindra skador på underlaget i korrosiva miljöer.

Hög smältpunktTantalkarbid har en hög smältpunkt (cirka 3880°C), vilket gör att CVD TaC Coating kan användas under extrema höga temperaturer utan att smälta eller brytas ned.

Utmärkt värmeledningsförmåga: TaC-beläggning har hög värmeledningsförmåga, vilket hjälper till att effektivt avleda värme i högtemperaturprocesser och förhindra lokal överhettning.

Potentiella applikationer:

• Galliumnitrid (GaN) och kiselkarbid epitaxiella CVD-reaktorkomponenter inklusive waferbärare, paraboler, duschmunstycken, tak och susceptorer

• Kiselkarbid, galliumnitrid och aluminiumnitrid (AlN) kristalltillväxtkomponenter inklusive deglar, fröhållare, styrringar och filter

• Industriella komponenter inklusive motståndsvärmeelement, insprutningsmunstycken, maskeringsringar och lödjiggar

Applikationsfunktioner:

• Temperaturstabil över 2000°C, tillåter drift vid extrema temperaturer
•Beständig mot väte (Hz), ammoniak (NH3), monosilan (SiH4) och kisel (Si), vilket ger skydd i tuffa kemiska miljöer
• Dess värmechockbeständighet möjliggör snabbare arbetscykler
• Grafit har stark vidhäftning, vilket säkerställer en lång livslängd och ingen beläggningsdelaminering.
• Ultrahög renhet för att eliminera onödiga föroreningar eller föroreningar
• Konform beläggningstäckning till snäva dimensionella toleranser

Tekniska specifikationer:

Framställning av täta tantalkarbidbeläggningar med CVD:

TAC-beläggning med hög kristallinitet och utmärkt enhetlighet:

CVD TAC COATING Tekniska parametrar_Semicera:

Ovanstående är typiska värden.