SemicerasSiC-paddlarär konstruerade för minimal termisk expansion, vilket ger stabilitet och precision i processer där dimensionell noggrannhet är avgörande. Detta gör dem idealiska för applikationer däroblatutsätts för upprepade uppvärmnings- och kylcykler, eftersom waferbåten bibehåller sin strukturella integritet, vilket säkerställer konsekvent prestanda.
Inkorporerar Semicerasdiffusionspaddlar av kiselkarbidin i din produktionslinje kommer att förbättra din processs tillförlitlighet, tack vare deras överlägsna termiska och kemiska egenskaper. Dessa paddlar är perfekta för diffusions-, oxidations- och glödgningsprocesser, vilket säkerställer att wafers hanteras med omsorg och precision under varje steg.
Innovation är kärnan i SemicerasSiC paddeldesign. Dessa paddlar är skräddarsydda för att passa sömlöst in i befintlig halvledarutrustning, vilket ger förbättrad hanteringseffektivitet. Den lätta strukturen och den ergonomiska designen förbättrar inte bara wafertransporten utan minskar också driftstopp, vilket resulterar i strömlinjeformad produktion.
| Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| Egendom | Typiskt värde |
| Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| SiC-innehåll | > 99,96 % |
| Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Synbar porositet | < 16 % |
| Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
| Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
