Semicera presenterar högkvalitativ customfribärande paddlar av kiselkarbidutformad för att lyfta halvledartillverkningsprocesser. Det innovativaSiC paddeldesign säkerställer exceptionell hållbarhet och hög termisk motståndskraft, vilket gör den till en viktig komponent för waferhantering i utmanande högtemperaturmiljöer.
DeKiselkarbidpaddelär byggd för att motstå extrema termiska cykler samtidigt som strukturell integritet bibehålls, vilket säkerställer pålitlig wafertransport under kritiska faser av halvledarproduktion. Med överlägsen mekanisk styrka, dettawafer båtminimerar risken för skador på wafers, vilket leder till högre avkastning och jämn produktionskvalitet.
En av de viktigaste innovationerna i Semiceras SiC-paddel ligger i dess anpassade designalternativ. Skräddarsydd för att möta specifika produktionsbehov erbjuder paddeln flexibilitet i integration med olika utrustningsinställningar, vilket gör den till en idealisk lösning för moderna tillverkningsprocesser. Den lätta men ändå robusta konstruktionen möjliggör enkel hantering och minskar driftstopp, vilket bidrar till förbättrad effektivitet i halvledarproduktion.
Förutom dess termiska och mekaniska egenskaper,Kiselkarbidpaddelerbjuder utmärkt kemisk resistens, vilket gör att den fungerar tillförlitligt även i tuffa kemiska miljöer. Detta gör den särskilt lämplig för användning i processer som involverar etsning, deponering och högtemperaturbehandling, där bibehållande av integriteten hos waferbåten är avgörande för att säkerställa högkvalitativa utgångar.
| Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| Egendom | Typiskt värde |
| Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| SiC-innehåll | > 99,96 % |
| Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Synbar porositet | < 16 % |
| Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
| Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
