Waferbärare

Kort beskrivning:

Waferbärare– Säkra och effektiva waferhanteringslösningar från Semicera, designade för att skydda och transportera halvledarwafers med yttersta precision och tillförlitlighet i avancerade tillverkningsmiljöer.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Semicera presenterar det branschledandeWaferbärare, konstruerad för att ge överlägset skydd och sömlös transport av känsliga halvledarskivor över olika stadier av tillverkningsprocessen. VårWaferbärareär noggrant utformade för att möta de stränga kraven för modern halvledartillverkning, vilket säkerställer att integriteten och kvaliteten på dina wafers alltid bibehålls.

 

Nyckelfunktioner:

• Premium materialkonstruktion:Tillverkad av högkvalitativa, kontamineringsbeständiga material som garanterar hållbarhet och livslängd, vilket gör dem idealiska för renrumsmiljöer.

Precisionsdesign:Har exakt spårinriktning och säkra hållarmekanismer för att förhindra att skivan glider och skadas under hantering och transport.

Mångsidig kompatibilitet:Rymmer ett brett utbud av waferstorlekar och -tjocklekar, vilket ger flexibilitet för olika halvledarapplikationer.

Ergonomisk hantering:Lätt och användarvänlig design underlättar lastning och lossning, vilket ökar effektiviteten och minskar hanteringstiden.

Anpassningsbara alternativ:Erbjuder anpassning för att möta specifika krav, inklusive materialval, storleksjusteringar och märkning för optimerad arbetsflödesintegration.

 

Förbättra din halvledartillverkningsprocess med SemicerasWaferbärare, den perfekta lösningen för att skydda dina wafers mot kontaminering och mekaniska skador. Lita på vårt engagemang för kvalitet och innovation för att leverera produkter som inte bara uppfyller utan överträffar industristandarder, vilket säkerställer att din verksamhet löper smidigt och effektivt.

Föremål

Produktion

Forskning

Dummy

Kristallparametrar

Polytyp

4H

Ytorienteringsfel

<11-20 >4±0,15°

Elektriska parametrar

Dopant

n-typ kväve

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniska parametrar

Diameter

150,0±0,2 mm

Tjocklek

350±25 μm

Primär platt orientering

[1-100]±5°

Primär platt längd

47,5±1,5 mm

Sekundär lägenhet

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Rosett

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Varp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Främre (Si-face) grovhet (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Strukturera

Mikropipdensitet

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metallföroreningar

≤5E10atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Främre kvalitet

Främre

Si

Ytfinish

Si-face CMP

Partiklar

≤60ea/wafer (storlek≥0,3μm)

NA

Repor

≤5ea/mm. Kumulativ längd ≤Diameter

Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Apelsinskal/gropar/fläckar/ränder/sprickor/kontamination

Ingen

NA

Kantspån/indrag/brott/sexplåtar

Ingen

Polytypområden

Ingen

Kumulativ yta≤20 %

Kumulativ yta≤30 %

Lasermärkning framtill

Ingen

Ryggkvalitet

Bakre finish

C-face CMP

Repor

≤5ea/mm, Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Ryggdefekter (kantspån/indrag)

Ingen

Ryggsträvhet

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Rygglasermärkning

1 mm (från överkant)

Kant

Kant

Avfasning

Förpackning

Förpackning

Epi-ready med vakuumförpackning

Multi-wafer kassettförpackning

*Anmärkningar: "NA" betyder ingen begäran. Objekt som inte nämns kan referera till SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: