Tantalkarbidbelagd susceptorstödplattaär en susceptor eller stödstruktur som är täckt med ett tunt lager avtantalkarbid. Denna beläggning kan bildas på susceptorytan genom tekniker som fysikalisk ångavsättning (PVD) eller kemisk ångavsättning (CVD), vilket ger susceptorn de överlägsna egenskaperna hostantalkarbid.
Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt.
Huvuddragen hos tantalkarbidbelagda basstödplattor inkluderar:
1. Högtemperaturstabilitet: Tantalkarbid har utmärkt högtemperaturstabilitet, vilket gör den belagda basstödplattan lämplig för stödbehov i arbetsmiljöer med hög temperatur.
2. Korrosionsbeständighet: Tantalkarbidbeläggning har god korrosionsbeständighet, kan motstå kemisk korrosion och oxidation och förlänger basens livslängd.
3. Hög hårdhet och slitstyrka: Den höga hårdheten hos tantalkarbidbeläggningen ger basstödplattan god slitstyrka, vilket är lämpligt för tillfällen som kräver hög slitstyrka.
4. Kemisk stabilitet: Tantalkarbid har hög stabilitet mot en mängd olika kemiska ämnen, vilket gör att den belagda basstödplattan fungerar bra i vissa korrosiva miljöer.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
