Tantalkarbidbelagd grafitskivaär ett grafitmaterial med ett tunt lager avtantalkarbidpå ytan av substratet. Det tunna lagret av tantalkarbid bildas vanligtvis på ytan av grafitsubstratet genom tekniker som fysikalisk ångavsättning (PVD) eller kemisk ångavsättning (CVD). Denna beläggning har utmärkta egenskaper såsom hög hårdhet, utmärkt slitstyrka, korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet.
Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt.
De viktigaste fördelarna med tantalkarbidbelagd grafitskiva inkluderar:
1. Högtemperaturbeständighet: Tantalkarbid har en hög smältpunkt och utmärkt stabilitet vid hög temperatur, vilket gör den belagda grafitskivan lämplig för användning i högtemperaturmiljöer.
2. Korrosionsbeständighet: Tantalkarbidbeläggning kan motstå erosion av många kemiska frätande ämnen och förlänga materialets livslängd.
3. Hög hårdhet: Den höga hårdheten hos det tunna tantalkarbidskiktet ger god slitstyrka och är lämplig för applikationer som kräver hög slitstyrka.
4. Kemisk stabilitet: Tantalkarbidbeläggning har utmärkt stabilitet mot kemisk korrosion och är lämplig för användning i vissa korrosiva medier.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
