SemiceraTaC Coating Chuck, den banbrytande vakuumchucken utrustad medTaC-beläggningar, speciellt designad för halvledarugnar. Konstruerad för att möta de rigorösa kraven från moderna halvledartillverkningsprocesser, sätter denna innovativa teknik en ny standard för precision, tillförlitlighet och livslängd.
I hjärtat av halvledartillverkning ligger det kritiska behovet av exakt kontroll och stabilitet under bearbetning. TaC Coating Chuck möter detta behov genom att integrera avanceradeTaC (tantalkarbid) beläggningarpå sin yta, vilket säkerställer exceptionell termisk stabilitet, hållbarhet och motståndskraft mot kemisk korrosion. Denna unika kombination av material förbättrar inte bara chuckens prestanda utan förlänger också dess livslängd, vilket ger konsekventa resultat över otaliga cykler.
En av de viktigaste fördelarna med TaC Coating Chuck är dess förmåga att upprätthålla en hög nivå av vakuumintegritet under hela bearbetningscykeln. Genom att effektivt minimera utgasning och kontaminering säkerställer denna teknologi renheten och kvaliteten på halvledarmaterialen, vilket resulterar i överlägsen enhetsprestanda och tillförlitlighet.
Dessutom erbjuder TaC Coating Chuck oöverträffad mångsidighet och rymmer ett brett utbud av halvledarsubstrat med varierande storlekar och geometrier. Den anpassningsbara designen av TaC Coating Chuck möjliggör sömlös integrering i befintliga halvledarugnssystem, vilket minimerar stilleståndstiden och maximerar produktiviteten.
Med TaC Coating Chuck kan halvledartillverkare uppnå högre genomströmning, förbättrat utbyte och minskade totala kostnader. Oavsett om det är i forskningslaboratorier eller produktionsanläggningar med hög volym, ger denna avancerade teknik halvledarproffs möjlighet att tänja på gränserna för innovation samtidigt som de upprätthåller strikta kvalitetsstandarder.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
