Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Tantalkarbidbelagda waferbärare används i stor utsträckning i waferbearbetnings- och hanteringsprocesser i halvledartillverkningsprocesser. De ger stabilt stöd och skydd för att säkerställa säkerheten, noggrannheten och konsistensen hos wafers under tillverkningsprocessen. Tantalkarbidbeläggningar kan förlänga bärarens livslängd, minska kostnaderna och förbättra kvaliteten och tillförlitligheten hos halvledarprodukter.
Beskrivning av tantalkarbidbelagd waferbärare är som följer:
1. Materialval: Tantalkarbid är ett material med utmärkt prestanda, hög hårdhet, hög smältpunkt, korrosionsbeständighet och utmärkta mekaniska egenskaper, så det används ofta i halvledartillverkningsprocessen.
2. Ytbeläggning: Tantalkarbidbeläggning appliceras på ytan av waferbäraren genom en speciell beläggningsprocess för att bilda en enhetlig och tät tantalkarbidbeläggning. Denna beläggning kan ge extra skydd och slitstyrka, samtidigt som den har god värmeledningsförmåga.
3. Planhet och precision: Tantalkarbidbelagd waferbärare har en hög grad av planhet och precision, vilket säkerställer stabiliteten och noggrannheten hos wafers under tillverkningsprocessen. Bärarytans planhet och finish är avgörande för att säkerställa waferns kvalitet och prestanda.
4. Temperaturstabilitet: Tantalkarbidbelagda waferbärare kan bibehålla stabilitet i högtemperaturmiljöer utan att deformeras eller lossna, vilket säkerställer stabiliteten och konsistensen hos wafers i högtemperaturprocesser.
5. Korrosionsbeständighet: Tantalkarbidbeläggningar har utmärkt korrosionsbeständighet, kan motstå erosion av kemikalier och lösningsmedel och skyddar bäraren från vätske- och gaskorrosion.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
