TaC Coated Plate är en specialiserad skiva designad för användning i SiC epitaxiella processer, tillverkad med precision av högkvalitativt grafitmaterial. Dess yta är noggrant belagd med tantalkarbid (TaC), en förening känd för sin exceptionella renhet och styrka. TaC-beläggningen förbättrar plattans hållbarhet och motståndskraft mot höga temperaturer, vilket gör den idealisk för de krävande förhållandena för SiC-epitaxialprocesser.
Denna innovativa TaC Coated Plate är en specialiserad skiva designad för användning i SiC epitaxiella processer, tillverkad med precision av högkvalitativt grafitmaterial. TaC Coated Plate-ytan är noggrant belagd med tantalkarbid (TaC), en förening känd för sin exceptionella renhet och styrka. fungerar som en pålitlig plattform för att bära wafers under olika stadier av SiC epitaxiell tillväxt. Dess högren grafitbas ger en stabil och inert yta, medan TaC-beläggningen lägger till ett extra lager av skydd mot kemiska reaktioner och slitage.
SemiceraTaC Coated Plate är skräddarsydd efter kundernas specifika krav, vilket säkerställer optimal prestanda och kompatibilitet med deras SiC-epitaxialsystem. Oavsett om det gäller storlek, form eller andra specifikationer är dessa plattor skräddarsydda för att möta de unika behoven för varje applikation.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
