TaC-beläggningär en viktig materialbeläggning, som vanligen framställs på grafitbas med hjälp av MOCVD-teknik (Metal Organic Chemical Vapor Deposition). Denna beläggning har utmärkta egenskaper, såsom hög hårdhet, utmärkt slitstyrka, hög temperaturbeständighet och kemisk stabilitet, och är lämplig för olika tekniska tillämpningar med hög efterfrågan.
MOCVD-teknologi är en vanlig tunnfilmstillväxtteknologi som avsätter den önskade sammansatta filmen på substratytan genom att reagera organiska metallprekursorer med reaktiva gaser vid höga temperaturer. Vid förberedelserTaC-beläggninggenom att välja lämpliga metallorganiska prekursorer och kolkällor, kontrollera reaktionsbetingelser och avsättningsparametrar, kan en enhetlig och tät TaC-film avsättas på en grafitbas.
Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
