TaC-belagda grafitstyrringarhänvisa till avsättningen av ett tunt lager avtantalkarbidpå ytan av en grafitstyrring för att förbättra dess slitstyrka, hög temperaturbeständighet och kemisk stabilitet. Denna beläggning bildas vanligtvis på ytan av en grafitstyrring genom tekniker såsom fysikalisk ångavsättning (PVD) eller kemisk ångavsättning (CVD).
Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt.
Huvuddragen hos TaC-belagda grafitstyrringar inkluderar:
1. Högtemperaturbeständighet: TaC-beläggning har utmärkt högtemperaturstabilitet och kan bibehålla stabilitet i högtemperaturmiljöer.
2. Slitstyrka: Den höga hårdheten hos det tunna tantalkarbidskiktet ger styrringen god slitstyrka och förlänger dess livslängd.
3. Kemisk stabilitet: TaC-beläggning har hög stabilitet mot kemisk korrosion, vilket gör den lämplig för applikationer i vissa korrosiva medier.
4. Minska friktionen: TaC-beläggning kan effektivt minska friktionen mellan grafitstyrringen och andra komponenter och förbättra effektiviteten hos mekaniska tätningar.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
