TaC-belagda epitaxiella waferbärareanvänds vanligtvis vid framställning av högpresterande optoelektroniska enheter, kraftenheter, sensorer och andra områden. Dettaepitaxiell waferbärareavser deponering avTaCtunn film på substratet under kristalltillväxtprocessen för att bilda en wafer med specifik struktur och prestanda för efterföljande förberedelse av enheten.
Kemisk ångavsättningsteknik (CVD) används vanligtvis för att förberedaTaC-belagda epitaxiella waferbärare. Genom att reagera metallorganiska prekursorer och kolkällagaser vid hög temperatur kan en TaC-film avsättas på ytan av kristallsubstratet. Denna film kan ha utmärkta elektriska, optiska och mekaniska egenskaper och är lämplig för framställning av olika högpresterande enheter.
Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.
Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt.
med och utan TaC
Efter att ha använt TaC (höger)
Dessutom SemicerasTaC-belagda produkteruppvisar en längre livslängd och större motstånd mot höga temperaturer jämfört medSiC-beläggningar.Laboratoriemätningar har visat att vårTaC-beläggningarkan konsekvent prestera vid temperaturer upp till 2300 grader Celsius under längre perioder. Nedan följer några exempel på våra prover:
