Produktöversikt
DeSilikonimpregnerad kiselkarbid (SiC) paddel och waferbärareär konstruerad för att möta de krävande kraven för termisk bearbetning av halvledare. Tillverkad av högrent SiC och förbättrad genom kiselimpregnering, erbjuder denna produkt en unik kombination av högtemperaturprestanda, utmärkt värmeledningsförmåga, korrosionsbeständighet och enastående mekanisk styrka.
Genom att integrera avancerad materialvetenskap med precisionstillverkning säkerställer denna lösning överlägsen prestanda, tillförlitlighet och hållbarhet för halvledartillverkare.
Nyckelfunktioner
1.Exceptionellt motstånd mot hög temperatur
Med en smältpunkt som överstiger 2700°C är SiC-material i sig stabila under extrem värme. Silikonimpregnering förbättrar ytterligare deras termiska stabilitet, vilket gör att de tål långvarig exponering för höga temperaturer utan strukturell försvagning eller prestandaförsämring.
2.Överlägsen värmeledningsförmåga
Den exceptionella värmeledningsförmågan hos kiselimpregnerad SiC säkerställer jämn värmefördelning, vilket minskar värmespänningen under kritiska bearbetningssteg. Denna egenskap förlänger utrustningens livslängd och minimerar produktionsstopp, vilket gör den idealisk för termisk bearbetning vid hög temperatur.
3.Oxidations- och korrosionsbeständighet
Ett robust kiseloxidskikt bildas naturligt på ytan, vilket ger enastående motståndskraft mot oxidation och korrosion. Detta säkerställer långsiktig tillförlitlighet i tuffa driftsmiljöer, vilket skyddar både materialet och omgivande komponenter.
4.Hög mekanisk hållfasthet och slitstyrka
Kiselimpregnerad SiC har utmärkt tryckhållfasthet och slitstyrka, vilket bibehåller sin strukturella integritet under hög belastning och höga temperaturer. Detta minskar risken för slitagerelaterade skador, vilket säkerställer konsekvent prestanda under längre användningscykler.
Specifikationer
| Produktnamn | SC-RSiC-Si |
| Material | Silikonimpregnering Silicon Carbide Compact (hög renhet) |
| Ansökningar | Halvledarvärmebehandlingsdelar, Halvledartillverkningsutrustningsdelar |
| Leveransformulär | Gjuten kropp (sintrad kropp) |
| Sammansättning | Mekanisk egendom | Youngs modul (GPa) | Böjstyrka (MPa) | ||
| Sammansättning (vol %) | a-SiC | a-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Bulkdensitet (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Värmebeständig Temperatur°C | 1350 | Poissons förhållande | 0,18(RT) | ||
| Termisk egendom | Värmeledningsförmåga (W/(m· K)) | Specifik värmekapacitet (kJ/(kg·K)) | Koefficient för termisk expansion (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Orenhetsinnehåll ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Innehållshastighet | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Ansökningar
▪Termisk halvledarbearbetning:Idealisk för processer som kemisk ångavsättning (CVD), epitaxiell tillväxt och glödgning, där exakt temperaturkontroll och materialhållbarhet är avgörande.
▪Waferbärare och paddlar:Designad för att säkert hålla och transportera wafers under värmebehandlingar vid hög temperatur.
▪Extrema driftsmiljöer: Lämplig för inställningar som kräver motståndskraft mot värme, kemisk exponering och mekanisk påfrestning.
Fördelar med kiselimpregnerad SiC
Kombinationen av högren kiselkarbid och avancerad kiselimpregneringsteknik ger oöverträffade prestandafördelar:
▪Precision:Förbättrar noggrannheten och kontrollen av halvledarbearbetning.
▪Stabilitet:Tål tuffa miljöer utan att kompromissa med funktionaliteten.
▪Långt liv:Förlänger livslängden för halvledartillverkningsutrustning.
▪Effektivitet:Förbättrar produktiviteten genom att säkerställa pålitliga och konsekventa resultat.
Varför välja våra silikonimpregnerade SiC-lösningar?
At Semicera, är vi specialiserade på att tillhandahålla högpresterande lösningar skräddarsydda för behoven hos halvledartillverkare. Vår kiselimpregnerade kiselkarbidpaddel och waferbärare genomgår rigorösa tester och kvalitetssäkring för att möta industristandarder. Genom att välja Semicera får du tillgång till banbrytande material utformade för att optimera dina tillverkningsprocesser och förbättra din produktionskapacitet.
Tekniska specifikationer
▪Materialsammansättning:Högren kiselkarbid med kiselimpregnering.
▪Drifttemperaturområde:Upp till 2700°C.
▪ Värmeledningsförmåga:Exceptionellt hög för jämn värmefördelning.
▪Motståndsegenskaper:Oxidations-, korrosions- och slitstark.
▪Applikationer:Kompatibel med olika termiska halvledarbehandlingssystem.
Kontakta oss
Är du redo att höja din tillverkningsprocess för halvledare? KontaktaSemiceraidag för att lära dig mer om vår kiselimpregnerade kiselkarbidpaddel och waferbärare.
▪E-post: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Plats:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, Kina
