Solid SiC Focus Ring

Kort beskrivning:

Semiceras SiC Etch-ringar är designade för högpresterande halvledaretsningstillämpningar med exceptionell hållbarhet och precision. Den här etsringen är tillverkad av kiselkarbid med hög renhet (SiC) och utmärker sig i plasmaetsnings-, torretsnings- och waferetsningsprocesser. Semiceras avancerade tillverkningsprocess säkerställer att denna ring ger utmärkt slitstyrka och termisk stabilitet även i de mest krävande miljöer. Vi ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

Solid SiC Focus Ring från Semicera är en banbrytande komponent designad för att möta kraven från avancerad halvledartillverkning. Tillverkad av hög renhetKiselkarbid (SiC), denna fokusring är idealisk för ett brett spektrum av applikationer inom halvledarindustrin, särskilt inomCVD SiC-processer, plasmaetsning ochICPRIE (induktivt kopplad plasmareaktiv jonetsning). Känd för sin exceptionella slitstyrka, höga termiska stabilitet och renhet, säkerställer den långvarig prestanda i miljöer med hög stress.

I halvledarerånbearbetning, Solid SiC Focus Rings är avgörande för att bibehålla exakt etsning under torretsning och waferetsning. SiC-fokusringen hjälper till att fokusera plasman under processer som plasmaetsningsmaskiner, vilket gör den oumbärlig för etsning av kiselskivor. Det solida SiC-materialet erbjuder oöverträffad motståndskraft mot erosion, vilket säkerställer livslängden på din utrustning och minimerar stilleståndstiden, vilket är viktigt för att bibehålla hög genomströmning vid halvledartillverkning.

Solid SiC Focus Ring från Semicera är konstruerad för att motstå extrema temperaturer och aggressiva kemikalier som vanligtvis förekommer i halvledarindustrin. Den är speciellt framtagen för användning i högprecisionsuppgifter som t.exCVD SiC-beläggningar, där renhet och hållbarhet är av största vikt. Med utmärkt motståndskraft mot termisk chock säkerställer denna produkt konsekvent och stabil prestanda under de tuffaste förhållanden, inklusive exponering för höga temperaturer underrånetsningsprocesser.

I halvledarapplikationer, där precision och tillförlitlighet är nyckeln, spelar Solid SiC Focus Ring en avgörande roll för att förbättra den övergripande effektiviteten av etsningsprocesser. Dess robusta, högpresterande design gör den till det perfekta valet för industrier som kräver högrena komponenter som presterar under extrema förhållanden. Oavsett om det används iCVD SiC-ringapplikationer eller som en del av plasmaetsningsprocessen, Semiceras Solid SiC Focus Ring hjälper till att optimera din utrustnings prestanda och erbjuder den livslängd och tillförlitlighet som dina produktionsprocesser kräver.

Nyckelfunktioner:

• Överlägsen slitstyrka och hög termisk stabilitet
• Högrent Solid SiC-material för längre livslängd
• Idealisk för plasmaetsning, ICP RIE och torretsning
• Perfekt för waferetsning, speciellt i CVD SiC-processer
• Pålitlig prestanda i extrema miljöer och höga temperaturer
• Säkerställer precision och effektivitet vid etsning av silikonwafers

Applikationer:

• CVD SiC-processer inom halvledartillverkning
• Plasmaetsning och ICP RIE-system
• Torretsnings- och waferetsningsprocesser
• Etsning och deponering i plasmaetsningsmaskiner
• Precisionskomponenter för waferringar och CVD SiC-ringar