Grafit Susceptor med kiselkarbid beläggning Wafer Carrier

Kort beskrivning:

Semicera erbjuder ett omfattande utbud av susceptorer och grafitkomponenter designade för olika epitaxireaktorer.

Genom strategiska partnerskap med branschledande OEM-tillverkare, omfattande materialexpertis och avancerad tillverkningskapacitet, levererar Semicera skräddarsydda konstruktioner för att möta de specifika kraven för din applikation. Vårt engagemang för excellens säkerställer att du får optimala lösningar för dina epitaxireaktorbehov.

 

 

 


Produktdetaljer

Produkttaggar

Beskrivning

CVD-SiC-beläggning har egenskaperna för enhetlig struktur, kompakt material, hög temperaturbeständighet, oxidationsbeständighet, hög renhet, syra- och alkalibeständighet och organiskt reagens, med stabila fysikaliska och kemiska egenskaper.
Jämfört med högrent grafitmaterial börjar grafit oxidera vid 400C, vilket kommer att orsaka en förlust av pulver på grund av oxidation, vilket resulterar i miljöföroreningar till perifera enheter och vakuumkammare, och ökar föroreningarna i miljön med hög renhet.
SiC-beläggning kan dock bibehålla fysisk och kemisk stabilitet vid 1600 grader. Den används ofta i modern industri, särskilt inom halvledarindustrin.

FDVCDV

zcfvzxcvZSXCv

Vårt företag tillhandahåller SiC-beläggningsprocesstjänster med CVD-metod på ytan av grafit, keramik och andra material, så att speciella gaser som innehåller kol och kisel reagerar vid hög temperatur för att erhålla SiC-molekyler med hög renhet, molekyler avsatta på ytan av de belagda materialen, bildar SIC-skyddsskikt. Den bildade SIC är fast bunden till grafitbasen, vilket ger grafitbasen speciella egenskaper, vilket gör grafitens yta kompakt, porositetsfri, hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet.

Ansökan

Huvudfunktioner

1. Hög renhet SiC-belagd grafit

2. Överlägsen värmebeständighet & termisk enhetlighet

3. Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta

4. Hög hållbarhet mot kemisk rengöring

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggningar

SiC-CVD
Densitet (g/cc) 3.21
Böjhållfasthet (Mpa) 470
Termisk expansion (10-6/K) 4
Värmeledningsförmåga (W/mK) 300

Packning och frakt

Försörjningsförmåga:
10 000 stycken/stycken per månad
Förpackning och leverans:
Förpackning: Standard och stark förpackning
Polypåse + Box + Kartong + Pall
Hamn:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Ledtid:

Kvantitet (stycken) 1 – 1000 >1000
Uppskattad Tid (dagar) 15 Ska förhandlas
Semicera Arbetsplats
Semicera arbetsplats 2
Utrustningsmaskin
CNN-bearbetning, kemisk rengöring, CVD-beläggning
Vår tjänst

  • Tidigare:
  • Nästa: