SiC-belagd grafitvärmare för MOCVD K465i, epitaxiell grafitvärmare för halvledarutrustning

Kort beskrivning:

Semicera energiTechnology Co., Ltd.är en ledande leverantör specialiserad på wafer och avancerade halvledarförbrukningsvaror.Vi är dedikerade till att tillhandahålla högkvalitativa, pålitliga och innovativa produkter till halvledartillverkning,solcellsindustrinoch andra relaterade områden.

Vår produktlinje inkluderar SiC/TaC-belagda grafitprodukter och keramiska produkter, som omfattar olika material som kiselkarbid, kiselnitrid och aluminiumoxid och etc.

Som en pålitlig leverantör förstår vi vikten av förbrukningsvaror i tillverkningsprocessen, och vi är engagerade i att leverera produkter som uppfyller de högsta kvalitetsstandarderna för att uppfylla våra kunders behov.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

Huvudfunktioner hos grafitvärmare:

1. enhetlighet för värmestruktur.

2. god elektrisk ledningsförmåga och hög elektrisk belastning.

3. korrosionsbeständighet.

4. inoxiderbarhet.

5. hög kemisk renhet.

6. hög mekanisk hållfasthet.

Fördelen är energieffektiv, högt värde och lågt underhåll. Vi kan producera antioxidations- och grafitdegel med lång livslängd, grafitform och alla delar av grafitvärmare.

Huvudparametrar för grafitvärmare

Teknisk specifikation	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askinnehåll (PPM)	≤500
Shore hårdhet	≥45
Specifik resistans (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Kompressionsstyrka (Mpa)	≥70
Max. Kornstorlek (μm)	≤43
Termisk expansionskoefficient Mm/°C	≤4,4*10-6