SiC-belagd djup UV LED-susceptor – avancerad MOCVD-komponent för högpresterande epitaxi
Översikt:SiC Coated Deep UV LED Susceptor är en kritisk komponent i MOCVD-processer (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), speciellt utformad för att stödja effektiv och stabil tillväxt av djupt UV LED-epitaxialskikt. På Semicera är vi en ledande tillverkare och leverantör av SiC-belagda susceptorer, och erbjuder produkter som uppfyller de högsta industristandarderna. Med många års erfarenhet och långvariga partnerskap med ledande LED-epitaxialtillverkare är våra susceptorlösningar tillförlitliga globalt.
Nyckelfunktioner och fördelar:
▪Optimerad för djup UV LED-epitaxi:Speciellt utformad för högpresterande epitaxiell tillväxt av djupa UV-lysdioder, inklusive de i våglängdsområdet <260nm (används vid UV-C-desinfektion, sterilisering och andra applikationer).
▪Material och beläggning:Tillverkad av högkvalitativ SGL-grafit, belagd medCVD SiC, vilket säkerställer utmärkt motståndskraft mot NH3, HCl och miljöer med hög temperatur. Denna hållbara beläggning förbättrar prestanda och livslängd.
▪Precision Thermal Management:Avancerade bearbetningstekniker säkerställer enhetlig värmefördelning, förhindrar temperaturgradienter som kan påverka epitaxiell skikttillväxt, förbättrar enhetlighet och materialkvalitet.
▪ Termisk expansionskompatibilitet:Matchar värmeutvidgningskoefficienten för AlN/GaN epitaxiella wafers, vilket minimerar risken för att wafer deformeras eller spricker underMOCVDbehandla.
Anpassningsbar till ledande MOCVD-utrustning: Kompatibel med stora MOCVD-system som Veeco K465i, EPIK 700 och Aixtron Crius, stöder waferstorlekar från 2 till 8 tum och erbjuder skräddarsydda lösningar för spårdesign, processtemperatur och andra parametrar.
Applikationer:
▪ Tillverkning av djup UV LED:Idealisk för epitaxi av djupa UV-lysdioder som används i applikationer som UV-C-desinfektion och sterilisering.
▪ Nitridhalvledarepitaxi:Lämplig för GaN och AlN epitaxiella processer vid tillverkning av halvledarenheter.
▪ Forskning och utveckling:Stödja avancerade epitaxiexperiment för universitet och forskningsinstitutioner fokuserade på djupa UV-material och ny teknik.
Varför välja Semicera?
▪ Beprövad kvalitet:VårSiC-belagddjupa UV LED-susceptorer genomgår rigorös verifiering för att säkerställa att de matchar prestanda hos internationella topptillverkare.
▪ Skräddarsydda lösningar:Vi erbjuder skräddarsydda produkter för att möta våra kunders unika behov, vilket säkerställer optimal prestanda och långsiktig tillförlitlighet.
▪ Global expertis:Som en pålitlig partner till mångaLED epitaxialtillverkare över hela världen, Semicera tar med sig spjutspetsteknologi och en mängd erfarenhet till varje projekt.
Kontakta oss idag! Upptäck hur Semicera kan stödja dina MOCVD-processer med högkvalitativa, pålitliga SiC-belagda djupa UV LED-susceptorer. Kontakta oss för mer information eller för att begära en offert.
