Beskrivning
MOCVD substratvärmare, värmeelement för MOCVD
Grafitvärmare:
Grafitvärmarkomponenterna används i högtemperaturugnen med en temperatur på 2200 grader i vakuummiljö och 3000 grader i den deoxiderade och införda gasmiljön.
Huvuddragen hos grafitvärmare
1. enhetlighet för värmestruktur.
2. god elektrisk ledningsförmåga och hög elektrisk belastning.
3. korrosionsbeständighet.
4. inoxiderbarhet.
5. hög kemisk renhet.
6. hög mekanisk hållfasthet.
Fördelen är energieffektiv, högt värde och lågt underhåll.
Vi kan producera antioxidations- och grafitdegel med lång livslängd, grafitform och alla delar av grafitvärmare.
Kemisk grafit
Fördel: Hög temperaturbeständighet
Användning: MOCVD/Vacuumugn/Hot Zone
Bulkdensitet: 1,68-1,91 g/cm3
Böjhållfasthet: 30-46Mpa
Resistivitet:7-12μΩm
Huvudparametrar för grafitvärmare
| Teknisk specifikation | VET-M3 |
| Bulkdensitet (g/cm3) | ≥1,85 |
| Askinnehåll (PPM) | ≤500 |
| Shore hårdhet | ≥45 |
| Specifik resistans (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
| Kompressionsstyrka (Mpa) | ≥70 |
| Max. Kornstorlek (μm) | ≤43 |
| Termisk expansionskoefficient Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitvärmare för elektrisk ugn har egenskaper som värmebeständighet, oxidationsbeständighet, god elektrisk ledningsförmåga och bättre mekanisk intensitet. Vi kan bearbeta olika typer av grafitvärmare enligt kundernas design.
Företagsprofil
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. är en ledande leverantör av avancerad halvledarkeramik och den enda tillverkaren i Kina som samtidigt kan tillhandahålla kiselkarbidkeramik med hög renhet (särskilt omkristalliserad SiC) och CVD SiC-beläggning. Dessutom är vårt företag också engagerat i keramiska områden som aluminiumoxid, aluminiumnitrid, zirkoniumoxid och kiselnitrid, etc.
Våra huvudprodukter inkluderar: etsskiva av kiselkarbid, båtdrag av kiselkarbid, waferbåt av kiselkarbid (fotovoltaisk och halvledare), ugnsrör av kiselkarbid, fribärande skovel av kiselkarbid, chuckar av kiselkarbid, kiselkarbidstrålen SiC samt Ta CVD-beläggningen, samt Ta CVD-beläggningen. beläggning. Produkterna som huvudsakligen används inom halvledar- och fotovoltaikindustrin, såsom utrustning för kristalltillväxt, epitaxi, etsning, förpackning, beläggning och diffusionsugnar, etc.
Vårt företag har den kompletta produktionsutrustningen såsom gjutning, sintring, bearbetning, beläggningsutrustning, etc., som kan slutföra alla nödvändiga länkar för produktproduktion och har högre kontrollerbarhet av produktkvalitet; Den optimala produktionsplanen kan väljas enligt produktens behov, vilket resulterar i lägre kostnad och ger kunderna mer konkurrenskraftiga produkter; Vi kan flexibelt och effektivt schemalägga produktion baserat på orderleveranskrav och i samband med online orderhanteringssystem, vilket ger kunderna snabbare och mer garanterad leveranstid.
