Halvledarkassett

Kort beskrivning:

Halvledarkassett– Skydda och transportera dina wafers med precision med Semiceras Semiconductor Cassette, designad för att säkerställa optimal säkerhet och effektivitet i högteknologiska tillverkningsmiljöer.


Produktdetaljer

Produkttaggar

SemiceraintroducerarHalvledarkassett, ett viktigt verktyg för säker och effektiv hantering av wafers under hela halvledartillverkningsprocessen. Denna kassett är konstruerad med hög precision och säkerställer att dina wafers förvaras och transporteras på ett säkert sätt, och behåller sin integritet i varje steg.

Överlägset skydd och hållbarhetDeHalvledarkassettfrån Semicera är byggd för att erbjuda maximalt skydd till dina wafers. Tillverkad av robusta, kontamineringsbeständiga material, skyddar den dina wafers från potentiella skador och kontaminering, vilket gör den till ett idealiskt val för renrumsmiljöer. Kassettens design minimerar partikelbildning och säkerställer att wafers förblir orörda och säkra under hantering och transport.

Förbättrad design för optimal prestandaSemicerasHalvledarkassetthar en noggrant konstruerad design som ger exakt inriktning av skivan, vilket minskar risken för felinriktning och mekanisk skada. Kassettens slitsar är perfekt åtskilda för att hålla varje wafer säkert, vilket förhindrar alla rörelser som kan resultera i repor eller andra defekter.

Mångsidighet och kompatibilitetDeHalvledarkassettär mångsidig och kompatibel med olika waferstorlekar, vilket gör den lämplig för olika stadier av halvledartillverkning. Oavsett om du arbetar med standard- eller anpassade waferdimensioner, anpassar den här kassetten till dina behov och erbjuder flexibilitet i dina tillverkningsprocesser.

Strömlinjeformad hantering och effektivitetDesignad med användaren i åtankeSemicera halvledarkassettär lätt och lätt att hantera, vilket möjliggör snabb och effektiv lastning och lossning. Denna ergonomiska design sparar inte bara tid utan minskar också risken för mänskliga misstag, vilket säkerställer smidig drift inom din anläggning.

Uppfyller industristandarderSemicera ser till attHalvledarkassettuppfyller de högsta industristandarderna för kvalitet och tillförlitlighet. Varje kassett genomgår rigorösa tester för att garantera att den fungerar konsekvent under de krävande förhållandena för halvledartillverkning. Denna hängivenhet till kvalitet säkerställer att dina wafers alltid är skyddade och upprätthåller de höga standarder som krävs i branschen.

Föremål

Produktion

Forskning

Dummy

Kristallparametrar

Polytyp

4H

Ytorienteringsfel

<11-20 >4±0,15°

Elektriska parametrar

Dopant

n-typ kväve

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniska parametrar

Diameter

150,0±0,2 mm

Tjocklek

350±25 μm

Primär platt orientering

[1-100]±5°

Primär platt längd

47,5±1,5 mm

Sekundär lägenhet

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Rosett

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Varp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Främre (Si-face) grovhet (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Strukturera

Mikropipdensitet

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metallföroreningar

≤5E10atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Främre kvalitet

Främre

Si

Ytfinish

Si-face CMP

Partiklar

≤60ea/wafer (storlek≥0,3μm)

NA

Repor

≤5ea/mm. Kumulativ längd ≤Diameter

Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Apelsinskal/gropar/fläckar/ränder/sprickor/kontamination

Ingen

NA

Kantspån/indrag/brott/sexplåtar

Ingen

Polytypområden

Ingen

Kumulativ yta≤20 %

Kumulativ yta≤30 %

Lasermärkning framtill

Ingen

Ryggkvalitet

Bakre finish

C-face CMP

Repor

≤5ea/mm, Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Ryggdefekter (kantspån/indrag)

Ingen

Ryggsträvhet

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Rygglasermärkning

1 mm (från överkant)

Kant

Kant

Avfasning

Förpackning

Förpackning

Epi-ready med vakuumförpackning

Multi-wafer kassettförpackning

*Anmärkningar: "NA" betyder ingen begäran. Objekt som inte nämns kan referera till SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: