SemiceraintroducerarHalvledarkassett, ett viktigt verktyg för säker och effektiv hantering av wafers under hela halvledartillverkningsprocessen. Denna kassett är konstruerad med hög precision och säkerställer att dina wafers förvaras och transporteras på ett säkert sätt, och behåller sin integritet i varje steg.
Överlägset skydd och hållbarhetDeHalvledarkassettfrån Semicera är byggd för att erbjuda maximalt skydd till dina wafers. Tillverkad av robusta, kontamineringsbeständiga material, skyddar den dina wafers från potentiella skador och kontaminering, vilket gör den till ett idealiskt val för renrumsmiljöer. Kassettens design minimerar partikelbildning och säkerställer att wafers förblir orörda och säkra under hantering och transport.
Förbättrad design för optimal prestandaSemicerasHalvledarkassetthar en noggrant konstruerad design som ger exakt inriktning av skivan, vilket minskar risken för felinriktning och mekanisk skada. Kassettens slitsar är perfekt åtskilda för att hålla varje wafer säkert, vilket förhindrar alla rörelser som kan resultera i repor eller andra defekter.
Mångsidighet och kompatibilitetDeHalvledarkassettär mångsidig och kompatibel med olika waferstorlekar, vilket gör den lämplig för olika stadier av halvledartillverkning. Oavsett om du arbetar med standard- eller anpassade waferdimensioner, anpassar den här kassetten till dina behov och erbjuder flexibilitet i dina tillverkningsprocesser.
Strömlinjeformad hantering och effektivitetDesignad med användaren i åtankeSemicera halvledarkassettär lätt och lätt att hantera, vilket möjliggör snabb och effektiv lastning och lossning. Denna ergonomiska design sparar inte bara tid utan minskar också risken för mänskliga misstag, vilket säkerställer smidig drift inom din anläggning.
Uppfyller industristandarderSemicera ser till attHalvledarkassettuppfyller de högsta industristandarderna för kvalitet och tillförlitlighet. Varje kassett genomgår rigorösa tester för att garantera att den fungerar konsekvent under de krävande förhållandena för halvledartillverkning. Denna hängivenhet till kvalitet säkerställer att dina wafers alltid är skyddade och upprätthåller de höga standarder som krävs i branschen.
Föremål | Produktion | Forskning | Dummy |
Kristallparametrar | |||
Polytyp | 4H | ||
Ytorienteringsfel | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektriska parametrar | |||
Dopant | n-typ kväve | ||
Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mekaniska parametrar | |||
Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
Tjocklek | 350±25 μm | ||
Primär platt orientering | [1-100]±5° | ||
Primär platt längd | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundär lägenhet | Ingen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Rosett | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Varp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Främre (Si-face) grovhet (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Strukturera | |||
Mikropipdensitet | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Metallföroreningar | ≤5E10atomer/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Främre kvalitet | |||
Främre | Si | ||
Ytfinish | Si-face CMP | ||
Partiklar | ≤60ea/wafer (storlek≥0,3μm) | NA | |
Repor | ≤5ea/mm. Kumulativ längd ≤Diameter | Kumulativ längd≤2*Diameter | NA |
Apelsinskal/gropar/fläckar/ränder/sprickor/kontamination | Ingen | NA | |
Kantspån/indrag/brott/sexplåtar | Ingen | ||
Polytypområden | Ingen | Kumulativ yta≤20 % | Kumulativ yta≤30 % |
Lasermärkning framtill | Ingen | ||
Ryggkvalitet | |||
Bakre finish | C-face CMP | ||
Repor | ≤5ea/mm, Kumulativ längd≤2*Diameter | NA | |
Ryggdefekter (kantspån/indrag) | Ingen | ||
Ryggsträvhet | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Rygglasermärkning | 1 mm (från överkant) | ||
Kant | |||
Kant | Avfasning | ||
Förpackning | |||
Förpackning | Epi-ready med vakuumförpackning Multi-wafer kassettförpackning | ||
*Anmärkningar: "NA" betyder ingen begäran. Objekt som inte nämns kan referera till SEMI-STD. |