SiC beläggningsbärare för halvledaretsning

Kort beskrivning:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. är en ledande leverantör av avancerad halvledarkeramik. Våra huvudprodukter inkluderar: Etsade skivor av kiselkarbid, båtsläpvagnar av kiselkarbid, waferfartyg av kiselkarbid (PV & Semiconductor), ugnsrör av kiselkarbid, fribärande paddlar av kiselkarbid, chuck av kiselkarbid, balkar av kiselkarbid, samt CVD-SiC-beläggningar. TaC-beläggningar.

Produkterna används främst inom halvledar- och solcellsindustrin, såsom utrustning för kristalltillväxt, epitaxi, etsning, förpackning, beläggning och diffusionsugn.

 

 


Produktdetaljer

Produkttaggar

Beskrivning

Vårt företag tillhandahåller SiC-beläggningsprocesstjänster med CVD-metod på ytan av grafit, keramik och andra material, så att speciella gaser som innehåller kol och kisel reagerar vid hög temperatur för att erhålla SiC-molekyler med hög renhet, molekyler avsatta på ytan av de belagda materialen, bildar SIC-skyddsskikt.

Huvudfunktioner

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet:
oxidationsmotståndet är fortfarande mycket bra när temperaturen är så hög som 1600 C.
2. Hög renhet: tillverkad av kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
3. Erosionsbeständighet: hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
4. Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning

SiC-CVD-egenskaper

Kristallstruktur FCC β-fas
Densitet g/cm³ 3.21
Hårdhet Vickers hårdhet 2500
Kornstorlek μm 2~10
Kemisk renhet % 99,99995
Värmekapacitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Felexural styrka MPa (RT 4-punkts) 415
Youngs modul Gpa (4pt böj, 1300 ℃) 430
Termisk expansion (CTE) 10-6K-1 4.5
Värmeledningsförmåga (W/mK) 300
Semicera Arbetsplats
Semicera arbetsplats 2
Utrustningsmaskin
CNN-bearbetning, kemisk rengöring, CVD-beläggning
Vår tjänst

  • Tidigare:
  • Nästa: