RTP CVD SiC-ring

Kort beskrivning:

RTP CVD SiC-ringar är huvudsakligen sammansatta av kiselkarbid (SiC), vars kemiska sammansättning och kristallstruktur ger den utmärkta prestanda. Kiselkarbid är ett keramiskt material med hög smältpunkt, hög hårdhet och utmärkt korrosionsbeständighet. Den uppvisar god värmeledningsförmåga och kemisk stabilitet vid höga temperaturer och har utmärkt mekanisk styrka och slitstyrka.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

Varför är kiselkarbidetsring?

RTPCVD SiC-ringaranvänds ofta inom industriella och vetenskapliga områden i hög temperatur och korrosiva miljöer. Det spelar en viktig roll inom halvledartillverkning, optoelektronik, precisionsmaskiner och kemisk industri. Specifika tillämpningar inkluderar:

1. Halvledartillverkning:RTP CVD SiC-ringarkan användas för uppvärmning och kylning av halvledarutrustning, vilket ger stabil temperaturkontroll och säkerställer processens noggrannhet och konsistens.

2. Optoelektronik: På grund av dess utmärkta värmeledningsförmåga och höga temperaturbeständighet, RTPCVD SiC-ringarkan användas som stöd och värmeavledningsmaterial för lasrar, fiberoptisk kommunikationsutrustning och optiska komponenter.

3. Precisionsmaskineri: RTP CVD SiC-ringar kan användas för precisionsinstrument och utrustning i högtemperatur- och korrosiva miljöer, såsom högtemperaturugnar, vakuumanordningar och kemiska reaktorer.

4. Kemisk industri: På grund av dess korrosionsbeständighet och kemiska stabilitet kan RTP CVD SiC-ringar användas i behållare, rör och reaktorer i kemiska reaktioner och katalytiska processer.

Epi System

RTP-system

CVD-system

Produktprestanda:

1. Möt processen under 28nm

2. Superkorrosionsbeständighet

3. Superren prestanda

4. Superhårdhet

5. Hög densitet

6. Hög temperaturbeständighet

7. Slitstyrka

Produktapplikation:

Kiselkarbidmaterial har egenskaperna hög hårdhet, slitstyrka, korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet. Produkter med utmärkt omfattande prestanda används ofta i torretsning och TF/diffusionsprocesser.