PFA-kassett

Kort beskrivning:

PFA-kassett– Upplev oöverträffad kemikalieresistens och hållbarhet med Semiceras PFA-kassett, den idealiska lösningen för säker och effektiv waferhantering vid halvledartillverkning.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Semiceraär glada att kunna erbjudaPFA-kassett, ett premiumval för waferhantering i miljöer där kemikalieresistens och hållbarhet är av största vikt. Tillverkad av högrent Perfluoroalkoxi (PFA) material, är denna kassett designad för att klara de mest krävande förhållandena i halvledartillverkning, vilket säkerställer säkerheten och integriteten hos dina wafers.

Oöverträffad kemisk resistensDePFA-kassettär konstruerad för att ge överlägsen motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, vilket gör det till det perfekta valet för processer som involverar aggressiva syror, lösningsmedel och andra starka kemikalier. Denna robusta kemikaliebeständighet säkerställer att kassetten förblir intakt och funktionell även i de mest korrosiva miljöer, vilket förlänger dess livslängd och minskar behovet av frekventa byten.

Konstruktion med hög renhetSemicerasPFA-kassettär tillverkad av ultrarent PFA-material, vilket är avgörande för att förhindra kontaminering under waferbearbetning. Denna konstruktion med hög renhet minimerar risken för partikelgenerering och kemisk urlakning, vilket säkerställer att dina wafers skyddas från föroreningar som kan äventyra deras kvalitet.

Förbättrad hållbarhet och prestandaDesignad för hållbarhet, denPFA-kassettbibehåller sin strukturella integritet under extrema temperaturer och rigorösa bearbetningsförhållanden. Oavsett om den utsätts för höga temperaturer eller utsätts för upprepad hantering, behåller den här kassetten sin form och prestanda, och erbjuder långsiktig tillförlitlighet i krävande tillverkningsmiljöer.

Precisionsteknik för säker hanteringDeSemicera PFA-kassetthar exakt ingenjörskonst som säkerställer säker och stabil waferhantering. Varje slits är noggrant utformad för att hålla wafers säkert på plats, vilket förhindrar rörelser eller förskjutningar som kan resultera i skada. Denna precisionsteknik stöder konsekvent och exakt waferplacering, vilket bidrar till den totala processeffektiviteten.

Mångsidig tillämpning över processerTack vare dess överlägsna materialegenskaper,PFA-kassettär tillräckligt mångsidig för att användas i olika stadier av halvledartillverkning. Den är särskilt väl lämpad för våtetsning, kemisk ångavsättning (CVD) och andra processer som involverar hårda kemiska miljöer. Dess anpassningsförmåga gör det till ett viktigt verktyg för att upprätthålla processintegritet och waferkvalitet.

Engagemang för kvalitet och innovationPå Semicera har vi åtagit oss att tillhandahålla produkter som uppfyller de högsta industristandarderna. DePFA-kassettexemplifierar detta åtagande, och erbjuder en pålitlig lösning som sömlöst integreras i dina tillverkningsprocesser. Varje kassett genomgår strikt kvalitetskontroll för att säkerställa att den uppfyller våra rigorösa prestandakriterier, vilket ger den excellens du förväntar dig av Semicera.

Föremål

Produktion

Forskning

Dummy

Kristallparametrar

Polytyp

4H

Ytorienteringsfel

<11-20 >4±0,15°

Elektriska parametrar

Dopant

n-typ kväve

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniska parametrar

Diameter

150,0±0,2 mm

Tjocklek

350±25 μm

Primär platt orientering

[1-100]±5°

Primär platt längd

47,5±1,5 mm

Sekundär lägenhet

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Rosett

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Varp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Främre (Si-face) grovhet (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Strukturera

Mikropipdensitet

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metallföroreningar

≤5E10atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Främre kvalitet

Främre

Si

Ytfinish

Si-face CMP

Partiklar

≤60ea/wafer (storlek≥0,3μm)

NA

Repor

≤5ea/mm. Kumulativ längd ≤Diameter

Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Apelsinskal/gropar/fläckar/ränder/sprickor/kontamination

Ingen

NA

Kantspån/indrag/brott/sexplåtar

Ingen

Polytypområden

Ingen

Kumulativ yta≤20 %

Kumulativ yta≤30 %

Lasermärkning framtill

Ingen

Ryggkvalitet

Bakre finish

C-face CMP

Repor

≤5ea/mm, Kumulativ längd≤2*Diameter

NA

Ryggdefekter (kantspån/indrag)

Ingen

Ryggsträvhet

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Rygglasermärkning

1 mm (från överkant)

Kant

Kant

Avfasning

Förpackning

Förpackning

Epi-ready med vakuumförpackning

Multi-wafer kassettförpackning

*Anmärkningar: "NA" betyder ingen begäran. Objekt som inte nämns kan referera till SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: