Introduktion av waferbärare
PRODUKTKATAGORI
▶Wafer Carrier System för PECVD & TALOX Process
• PECVD & TALOX grafitbåt (M4~M12)
• Vertikal SM-båt (M4, M6)
• Implantat och dusch grafitdel (M4~M6)
• C/C-bricka och keramisk beläggning
• Metall RIE-bricka och keramisk beläggning
• Vakuumförsegling: O-ring & SQ-ring
▶Överföringsprocess för texturering och våtetsning
• LSC H-Carrier eller kassett (M4~M12)
• LSC V-Carrier eller kassett (M4~M12)
• ASC-hållare eller kassett (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Transporthjul (rulle)-serien
▶Solcellsbärare & metallbärare
• TRC-hållare eller kassett (M4~M12)
• Magasin (med BÄLT)
GRAFITBÅT (H-typ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITBÅT (H-typ)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITBÅT (H-typ)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITBÅT (H-typ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITBÅT (H-typ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF BÄRARE & FÖRVARINGSLÅDA (~M12)
C/C TRAY eller CARRIER( M4~M10)
C/C TRAY eller CARRIER( M4~M10)
VERTIKAL BÅT (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAFITBÅT(M12)
Wafer Carrier System för PECVD Process
▶ GRAFITBÅT (CT-designad) M10/M12 Process
• SÄRSKILT DESIGNKONCEPT
▶ GRAFITBÅT (CT-designad) M4/M6 Process
▶ BÅT Tillbehörsdelar
▶ VERTICAL BOAT-161,7mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-166mm WAFER
▶ VERTIKAL BÅT-161,7 mm, 166 mm WAFER
Solcellsbärare & TRC-bärare i metall
TYP: Automation
WAFERSTORLEK: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
ANVÄNDNING: Bär (kassett)
KAPACITET: 100 ark
PITCH: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSION: Cirka 559×220×220MM
Cirka 712×260×260MM
FÖRDEL: Atmosfär
MATERIAL: LÅGA, SIDORDÅNG-Aluminium (anodisering)
SIDOPLATE-POM (antistatisk)
Kåpa till bottenstång-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALBÄRARE (ANVÄNDARLINE)
TRC-METALBÄRARE (ANVÄNDARLINE)
TRC-METALBÄRARE (ANVÄNDARLINE)
DUSCHPLATTA & IMPLANTAT, BÄRARE
