Torr etsningsprocessen består vanligtvis av fyra grundläggande tillstånd: före etsning, partiell etsning, bara etsning och överetsning. Huvudegenskaperna är etsningshastighet, selektivitet, kritisk dimension, enhetlighet och slutpunktsdetektering. Figur 1 Före etsning Figur 2 Partiell etsning Figur...
Läs mer