Valsning hänvisar till processen att slipa ytterdiametern på en kiselstav till en kristallstav med önskad diameter med hjälp av en diamantslipskiva och slipa ut en plan kantreferensyta eller positioneringsspår på enkristallstaven.
Den yttre diameterytan på enkristallstaven som framställts av enkristallugnen är inte slät och platt, och dess diameter är större än diametern på kiselskivan som används i den slutliga applikationen. Den erforderliga stångdiametern kan erhållas genom att rulla den yttre diametern.
Valsverket har funktionen att mala den plana kantreferensytan eller positioneringsspåret på enkristallstaven av kisel, det vill säga att utföra riktningstestning på enkristallstaven med den erforderliga diametern. På samma valsverksutrustning slipas den plana kantreferensytan eller positioneringsspåret på enkristallstaven. Vanligtvis använder enkristallstavar med en diameter på mindre än 200 mm plankantsreferensytor, och enkristallstavar med en diameter på 200 mm och mer använder positioneringsspår. Enkristallstavar med en diameter på 200 mm kan även tillverkas med plana kantreferensytor efter behov. Syftet med enkristallstavens orienteringsreferensyta är att möta behoven av automatiserad positioneringsoperation av processutrustning vid tillverkning av integrerade kretsar; att indikera kristallorienteringen och konduktivitetstypen för kiselskivan, etc., för att underlätta produktionsstyrning; huvudpositioneringskanten eller positioneringsspåret är vinkelrät mot <110>-riktningen. Under chipförpackningsprocessen kan tärningsprocessen orsaka naturlig klyvning av skivan, och positionering kan också förhindra generering av fragment.
Huvudsyftet med avrundningsprocessen inkluderar: Förbättring av ytkvalitet: Avrundning kan ta bort grader och ojämnheter på ytan av kiselskivor och förbättra ytjämnheten hos kiselskivor, vilket är mycket viktigt för efterföljande fotolitografi och etsningsprocesser. Minska stress: Stress kan genereras under skärning och bearbetning av kiselskivor. Avrundning kan hjälpa till att frigöra dessa påfrestningar och förhindra att kiselskivorna går sönder i efterföljande processer. Förbättring av den mekaniska hållfastheten hos kiselskivor: Under avrundningsprocessen blir kanterna på kiselskivorna jämnare, vilket hjälper till att förbättra den mekaniska hållfastheten hos kiselskivorna och minska skador under transport och användning. Säkerställande av dimensionsnoggrannhet: Genom avrundning kan dimensionsnoggrannheten hos kiselskivor säkerställas, vilket är avgörande för tillverkning av halvledarenheter. Förbättring av de elektriska egenskaperna hos kiselskivor: Kantbearbetningen av kiselskivor har en viktig inverkan på deras elektriska egenskaper. Avrundning kan förbättra de elektriska egenskaperna hos kiselskivor, som att minska läckströmmen. Estetik: Kanterna på kiselskivor är jämnare och vackrare efter avrundning, vilket också är nödvändigt för vissa applikationsscenarier.
Posttid: 2024-jul-30