Introduktion till glasartad kolbeläggning av halvledarkvalitet

I. Introduktion till glasartad kolstruktur

640 (1)

Egenskaper:

(1) Ytan av glasartat kol är slät och har en glasartad struktur;

(2) Glasaktigt kol har hög hårdhet och låg dammgenerering;

(3) Glasaktigt kol har ett stort ID/IG-värde och en mycket låg grad av grafitisering, och dess värmeisoleringsprestanda är bättre;

(4) Glasartat kol är ett kol som är svårt att grafitisera med god högtemperaturbeständighet och stark stabilitet vid höga temperaturer;

(5) Glasartat kol har en liten reaktionsyta och utmärkt kemisk korrosionsbeständighet och är mer motståndskraftig mot erosion av syre, kisel, etc.

640 (2)

II. Introduktion till glasartad kolbeläggning

640 (4)

Ytporerna på flinggrafitbeläggning är fördelade och strukturen är lös, medan strukturen hos glasartad kolbeläggning är tät och inte faller av!

1. Antioxidationsprestanda hos glasartad kolbeläggning

(1)Laminerad hård filt
Glasaktig kolbeläggning förbättrar effektivt antioxidationsprestandan hos hård filt;

(2)Kort fiber hård filt
Hela filten har en hög porositet och ger syrekanaler; flinggrafitbeläggningen har en lös struktur, färre syrekanaler och förbättrad antioxidationsprestanda; den belagda glasartade kolbeläggningen har en tät struktur, färre syrekanaler och bästa antioxidationsprestanda.

640

2. Högtemperaturstabilitet hos glasartad kolbeläggning mot ablation
Den porösa strukturen av vanlig filt kan dämpa värme (värmekonvektion värmeavledning); grafitpapper är benäget att få blåsor vid ablation; ablationsdjupet för glasartad kolbeläggning är det grundaste, och dess ablationsmotstånd är det starkaste; den glasartade kolbeläggningen har god värmeisoleringsförmåga.

3. Anti-Si erosionsprestanda hos glasartad kolbeläggning
Kort fiberhård filt eroderas och pudras av Si; flinggrafitbeläggning har motståndskraft mot Si-erosion på kort sikt; glasartad kolbeläggning har den bästa anti-erosion prestanda.

Huvudorsaken till Si-erosion är att Si-förgasning direkt eroderar ytan på den hårda filten, vilket resulterar i pulverisering; medan kolstrukturen hos den glasartade kolbeläggningen är mer stabil och har bättre anti-erosionsprestanda.

Sammanfattning

640 (3)

Det glasaktiga kolbeläggningssystemet används inte bara på värmeisoleringsmaterial, utan förväntas också användas direkt på ytan av grafitdelar ochC/C delar, vilket effektivt förbättrar materialets omfattande serviceprestanda.


Posttid: 2024-okt-29