Tunna filmer som används i halvledartillverkning har alla resistans, och filmresistans har en direkt inverkan på enhetens prestanda. Vi mäter vanligtvis inte filmens absoluta motstånd, utan använder arkresistansen för att karakterisera den.
Vad är plåtmotstånd och volymresistivitet?
Volymresistivitet, även känd som volymresistivitet, är en inneboende egenskap hos ett material som kännetecknar hur mycket materialet hindrar flödet av elektrisk ström. Den vanligaste symbolen ρ representerar, enheten är Ω.
Arkmotstånd, även känt som arkmotstånd, det engelska namnet är arkmotstånd, vilket hänvisar till filmens motståndsvärde per ytenhet. Vanligt använda symboler Rs eller ρs för att uttrycka, enheten är Ω/sq eller Ω/□
Förhållandet mellan de två är: arkresistans = volymresistivitet/filmtjocklek, det vill säga Rs =ρ/t
Varför mäta plåtmotstånd?
Att mäta det absoluta motståndet hos en film kräver exakta kunskaper om filmens geometriska dimensioner (längd, bredd, tjocklek), som har många variabler och är mycket komplex för mycket tunna eller oregelbundet formade filmer. Arkmotståndet är endast relaterat till filmens tjocklek och kan snabbt och direkt testas utan komplicerade storleksberäkningar.
Vilka filmer behöver för att mäta arkresistans?
Generellt måste ledande filmer och halvledarfilmer mätas för kvadratresistans, medan isolerande filmer inte behöver mätas.
Vid halvledardopning mäts även kiselresistansen.
Hur mäter man kvadratresistans?
Fyra-sondsmetoden används generellt inom industrin. Fyra-sondsmetoden kan mäta kvadratresistans från 1E-3 till 1E+9Ω/sq. Fyra-sondsmetoden kan undvika mätfel på grund av kontaktresistans mellan sonden och provet.
Mätmetoder:
1) Sätt fyra linjärt arrangerade sonder på provets yta.
2) Lägg på en konstant ström mellan de två yttre sonderna.
3) Bestäm resistansen genom att mäta potentialskillnaden mellan de två interna sonderna
RS : arkmotstånd
ΔV: Ändring i spänning uppmätt mellan interna prober
I: Ström applicerad mellan yttre sonder
Posttid: 2024-mars