Tillämpning av kiselkarbidkeramik inom halvledarområdet

Halvledare:

Halvledarindustrin följer industrilagen för "en generation av teknik, en generation av processer och en generation av utrustning", och uppgraderingen och iterationen av halvledarutrustning beror till stor del på det tekniska genombrottet för precisionsdelar. Bland dem är precisionskeramiska delar de mest representativa halvledarprecisionsdelarnas material, som har viktiga tillämpningar i en rad viktiga halvledartillverkningslänkar såsom kemisk ångavsättning, fysisk ångavsättning, jonimplantation och etsning. Såsom lager, styrskenor, foder, elektrostatiska chuckar, mekaniska hanteringsarmar, etc. Speciellt inne i utrustningens hålrum spelar den rollen som stöd, skydd och avledning.

640

Sedan 2023 har Nederländerna och Japan också successivt utfärdat nya förordningar eller utrikeshandelsdekret om kontroll, och lagt till exportlicensbestämmelser för halvledarutrustning inklusive litografimaskiner, och trenden med halvledaranti-globalisering har gradvis uppstått. Vikten av oberoende kontroll av försörjningskedjan har blivit allt mer framträdande. Inför efterfrågan på lokalisering av delar av halvledarutrustning, främjar inhemska företag aktivt industriell utveckling. Zhongci Electronics har insett lokaliseringen av högteknologiska precisionsdelar som värmeplattor och elektrostatiska chuckar, vilket löser "flaskhalsproblemet" i den inhemska halvledarutrustningsindustrin; Dezhi New Materials, en ledande inhemsk leverantör av SiC-belagda grafitbaser och SiC-etsringar, har framgångsrikt slutfört en finansiering på 100 miljoner yuan, etc...
Keramiska substrat av kiselnitrid med hög ledningsförmåga:

Keramiska substrat av kiselnitrid används huvudsakligen i kraftenheter, halvledarenheter och växelriktare för rena elfordon (EV) och hybridelektriska fordon (HEV), och har en enorm marknadspotential och applikationsmöjligheter.

640 (1)

För närvarande kräver keramiska substratmaterial av kiselnitrid med hög värmeledningsförmåga för kommersiella tillämpningar värmeledningsförmåga ≥85 W/(m·K), böjhållfasthet ≥650MPa och brottseghet 5~7MPa·m1/2. De företag som verkligen har förmågan att massproducera keramiska substrat av kiselnitrid med hög värmeledningsförmåga är främst Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa och Japan Fine Ceramics.

Inhemsk forskning om keramiska substratmaterial av kiselnitrid har också gjort vissa framsteg. Värmeledningsförmågan för det keramiska substratet av kiselnitrid som framställts genom tejpgjutningsprocessen av Beijing Branch of Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. är 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. har framgångsrikt förberett ett keramiskt kiselnitridsubstrat med en böjhållfasthet på 700-800MPa, en brottseghet ≥8MPa·m1/2 och en värmeledningsförmåga ≥80W/(m·K) genom att optimera sintringsmetoden och processen.


Posttid: 2024-okt-29