SEMICERA isostatisk PECVD-grafitbåt är en grafitprodukt med hög renhet och hög densitet designad för att stödja skivor i PECVD-processen (plasmaförstärkt kemisk ångavsättning). SEMICERA använder avancerad isostatisk pressteknik för att säkerställa att grafitbåten har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och god värmeledningsförmåga, vilket är ett oumbärligt förbrukningsmaterial i halvledartillverkningsprocessen.
SEMICERA isostatisk PECVD grafitbåt har följande fördelar:
▪ Hög renhet: Grafitmaterialet är av hög renhet och låg föroreningshalt för att undvika kontaminering av skivans yta.
▪ Hög densitet: Hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, tål hög temperatur och hög vakuummiljö.
▪ Bra dimensionsstabilitet: Liten dimensionsförändring vid hög temperatur för att säkerställa processstabilitet.
▪ Utmärkt värmeledningsförmåga: Överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafer.
▪ Stark korrosionsbeständighet: Kan motstå erosion av olika korrosiva gaser och plasma.
| Prestandaparameter | semicera | SGL R6510 | Prestandaparameter |
| Bulkdensitet (g/cm3) | 1,91 | 1,83 | 1,85 |
| Böjhållfasthet (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Tryckhållfasthet (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Shore Hardness (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Termisk expansionskoefficient（10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| Termisk expansionskoefficient（10-6/K） | 5,85 | 4.2 | 5.0 |
| Resistivitet (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Fördelar med att välja oss:
▪ Materialval: Högrena grafitmaterial används för att säkerställa produktkvalitet.
▪ Processteknik: Isostatisk pressning används för att säkerställa produktdensitet och enhetlighet.
▪ Storleksanpassning: Grafitbåtar i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.
▪ Ytbehandling: En mängd olika ytbehandlingsmetoder tillhandahålls, såsom beläggning av kiselkarbid, bornitrid, etc., för att möta olika processkrav.
