Tantalkarbidbelagd Wafer Susceptor

Kort beskrivning:

Tantalkarbidbeläggning är en avancerad ytbeläggningsteknik som använder tantalkarbidmaterial för att bilda ett hårt, slitstarkt och korrosionsbeständigt skyddsskikt på ytan av underlaget. Denna beläggning har utmärkta egenskaper som avsevärt ökar materialets hårdhet, höga temperaturbeständighet och kemikaliebeständighet, samtidigt som den minskar friktion och slitage. Tantalkarbidbeläggningar används i stor utsträckning inom olika områden, inklusive industriell tillverkning, flyg, bilteknik och medicinsk utrustning, för att förlänga materiallivslängden, förbättra produktionseffektiviteten och minska underhållskostnaderna. Oavsett om man skyddar metallytor från korrosion eller förbättrar slitstyrkan och oxidationsbeständigheten hos mekaniska delar, ger tantalkarbidbeläggningar en pålitlig lösning för en mängd olika applikationer.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

Semicera tillhandahåller specialiserade tantalkarbid (TaC) beläggningar för olika komponenter och bärare.Semiceras ledande beläggningsprocess gör det möjligt för tantalkarbid (TaC)-beläggningar att uppnå hög renhet, hög temperaturstabilitet och hög kemisk tolerans, vilket förbättrar produktkvaliteten för SIC/GAN-kristaller och EPI-skikt (Grafitbelagd TaC-susceptor), och förlänger livslängden för nyckelreaktorkomponenter. Användningen av tantalkarbid TaC-beläggning är att lösa kantproblemet och förbättra kvaliteten på kristalltillväxt, och Semicera Semicera har genombrott löst tantalkarbidbeläggningstekniken (CVD), och nått den internationella avancerade nivån.

Efter år av utveckling har Semicera erövrat tekniken förCVD TaCmed FoU-avdelningens gemensamma insatser. Defekter är lätta att uppstå i tillväxtprocessen av SiC-skivor, men efter användningTaC, skillnaden är betydande. Nedan är en jämförelse av wafers med och utan TaC, samt Simiceras delar för enkristalltillväxt

Tac del för tillväxt enkristall

Antislitagebeläggning av tantalkarbid_ Skyddar utrustning från slitage och korrosion

Grafit med TaC-belagd ring

med och utan TaC

Efter att ha använt TaC (höger)

Dessutom är livslängden för Semiceras TaC-beläggningsprodukter längre och mer motståndskraftig mot höga temperaturer än SiC-beläggningen. Efter lång tid av laboratoriemätdata kan vår TaC arbeta länge vid max 2300 grader Celsius. Följande är några av våra exempel: