Semicera introducerar högkvalitativa halvledarefribärande paddlar av kiselkarbid, designad för att möta de stränga kraven för modern halvledartillverkning.
Depaddel av kiselkarbidhar en avancerad design som minimerar termisk expansion och vridning, vilket gör den mycket pålitlig under extrema förhållanden. Dess robusta konstruktion ger ökad hållbarhet, vilket minskar risken för brott eller slitage, vilket är avgörande för att bibehålla hög avkastning och jämn produktionskvalitet. Dewafer båtdesign integreras också sömlöst med standard halvledarbehandlingsutrustning, vilket säkerställer kompatibilitet och användarvänlighet.
En av de framstående egenskaperna hos SemiceraSiC paddelär dess kemikaliebeständighet, vilket gör att den kan prestera exceptionellt bra i miljöer som utsätts för frätande gaser och kemikalier. Semiceras fokus på anpassning möjliggör skräddarsydda lösningar.
| Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| Egendom | Typiskt värde |
| Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| SiC-innehåll | > 99,96 % |
| Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Synbar porositet | < 16 % |
| Kompressionsstyrka | > 600 MPa |
| Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Värmeledningsförmåga @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
