Beskrivning
Kiselkarbidkeramik har utmärkta mekaniska egenskaper vid rumstemperatur, såsom hög hållfasthet, hög hårdhet, hög elasticitetsmodul, etc., den har också utmärkt högtemperaturstabilitet som hög värmeledningsförmåga, låg värmeutvidgningskoefficient och god specifik styvhet och optisk bearbetningsprestanda.
De är särskilt lämpade för tillverkning av precisionskeramiska delar för integrerade kretsutrustningar såsom litografimaskiner, som huvudsakligen används för att tillverka SiC-bäraren/susceptorn, SiC-waferbåten, sugskivan, vattenkylningsplattan, precisionsmätreflektorn, gallret och andra keramiska strukturdelar
Fördelar
Hög temperaturbeständighet: normal användning vid 1800 ℃
Hög värmeledningsförmåga: likvärdig med grafitmaterial
Hög hårdhet: hårdhet näst efter diamant, bornitrid
Korrosionsbeständighet: stark syra och alkali har ingen korrosion, korrosionsbeständigheten är bättre än volframkarbid och aluminiumoxid
Låg vikt: låg densitet, nära aluminium
Ingen deformation: låg värmeutvidgningskoefficient
Termisk chockbeständighet: den tål skarpa temperaturförändringar, motstår termisk chock och har stabil prestanda
Kiselkarbidbärare som sic etsningsbärare, ICP-etsningsbärare, används ofta i halvledar-CVD, vakuumförstoftning etc. Vi kan förse kunder med skräddarsydda waferbärare av kisel- och kiselkarbidmaterial för att möta olika applikationer.
Fördelar
| Egendom | Värde | Metod |
| Densitet | 3,21 g/cc | Sink-float och dimension |
| Specifik värme | 0,66 J/g °K | Pulserande laserblixt |
| Böjhållfasthet | 450 MPa560 MPa | 4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300° |
| Frakturseghet | 2,94 MPa m1/2 | Mikroindragning |
| Hårdhet | 2800 | Vicker's, 500g last |
| Elastic Modulus Youngs Modulus | 450 GPa430 GPa | 4 pt böj, RT4 pt böj, 1300 °C |
| Kornstorlek | 2 – 10 µm | SEM |
Företagsprofil
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. är en ledande leverantör av avancerad halvledarkeramik och den enda tillverkaren i Kina som samtidigt kan tillhandahålla kiselkarbidkeramik med hög renhet (särskilt omkristalliserad SiC) och CVD SiC-beläggning. Dessutom är vårt företag också engagerat i keramiska områden som aluminiumoxid, aluminiumnitrid, zirkoniumoxid och kiselnitrid, etc.
Våra huvudprodukter inkluderar: etsskiva av kiselkarbid, båtdrag av kiselkarbid, waferbåt av kiselkarbid (fotovoltaisk och halvledare), ugnsrör av kiselkarbid, fribärande skovel av kiselkarbid, chuckar av kiselkarbid, kiselkarbidstrålen SiC samt Ta CVD-beläggningen, samt Ta CVD-beläggningen. beläggning. Produkterna som huvudsakligen används inom halvledar- och fotovoltaikindustrin, såsom utrustning för kristalltillväxt, epitaxi, etsning, förpackning, beläggning och diffusionsugnar, etc.
Transport
