kiselkarbid Keramisk effektor för överföring av wafers i olika halvledarprocesser

Kort beskrivning:

Den mekaniska kiselkarbidarmen är formad genom isostatisk pressprocess och sintrad vid hög temperatur.Enligt kraven i användarens designritningar kan konturstorleken, tjockleksstorleken och formen förfinas för att möta användarnas specifika krav.


Produktdetalj

Produkttaggar

12

Egenskaper och fördelar

1.Exakta mått och termisk stabilitet

2.Hög specifik styvhet och utmärkt termisk enhetlighet, långvarig användning är inte lätt att böja deformation;

3.Den har en slät yta och bra slitstyrka, vilket gör att chipet hanteras säkert utan partikelkontamination.

4. Kiselkarbidresistivitet i 106-108Ω, icke-magnetisk, i linje med anti-ESD-specifikationskraven;Det kan förhindra ackumulering av statisk elektricitet på chipets yta

5.God värmeledningsförmåga, låg expansionskoefficient.

Robotarmseffektor
SiC End Effector
Jämförelse av SIC keramiska material
ADFvZCVXCD

  • Tidigare:
  • Nästa: