Anpassad halvledar-ICP-fack (etsning)

Kort beskrivning:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. är en ledande leverantör som specialiserar sig på wafer och avancerade halvledarförbrukningsvaror.Vi är dedikerade till att tillhandahålla högkvalitativa, pålitliga och innovativa produkter till halvledartillverkning,solcellsindustrinoch andra relaterade områden.

Vår produktlinje inkluderar SiC/TaC-belagda grafitprodukter och keramiska produkter, som omfattar olika material som kiselkarbid, kiselnitrid och aluminiumoxid och etc.

Som en pålitlig leverantör förstår vi vikten av förbrukningsvaror i tillverkningsprocessen, och vi är engagerade i att leverera produkter som uppfyller de högsta kvalitetsstandarderna för att uppfylla våra kunders behov.

 

Produktdetaljer

Produkttaggar

Produktbeskrivning

Vårt företag tillhandahåller SiC-beläggningsprocesstjänster med CVD-metod på ytan av grafit, keramik och andra material, så att speciella gaser som innehåller kol och kisel reagerar vid hög temperatur för att erhålla SiC-molekyler med hög renhet, molekyler avsatta på ytan av de belagda materialen, bildar SIC-skyddsskikt.

Huvudfunktioner:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet:

oxidationsmotståndet är fortfarande mycket bra när temperaturen är så hög som 1600 C.

2. Hög renhet: tillverkad av kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.

3. Erosionsbeständighet: hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.

4. Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.

3

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning

SiC-CVD-egenskaper

Kristallstruktur

FCC β-fas

Densitet

g/cm³

3.21

Hårdhet

Vickers hårdhet

2500

Kornstorlek

μm

2~10

Kemisk renhet

%

99,99995

Värmekapacitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Felexural styrka

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt böj, 1300 ℃)

430

Termisk expansion (CTE)

10-6K-1

4.5

Värmeledningsförmåga

(W/mK)

300


  • Tidigare:
  • Nästa: