Blå/grön LED-epitaxi från semicera erbjuder banbrytande lösningar för högpresterande LED-tillverkning. Designad för att stödja avancerade epitaxiella tillväxtprocesser, ökar semiceras blå/gröna LED-epitaxteknologi effektivitet och precision vid produktion av blå och gröna lysdioder, avgörande för olika optoelektroniska applikationer. Genom att använda toppmoderna Si Epitaxy och SiC Epitaxy säkerställer denna lösning utmärkt kvalitet och hållbarhet.
I tillverkningsprocessen spelar MOCVD Susceptor en avgörande roll, tillsammans med komponenter som PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier och RTP Carrier, som optimerar den epitaxiella tillväxtmiljön. Semiceras blå/gröna LED-epitaxi är designad för att ge stabilt stöd för LED-epitaxiella susceptor, fatsusceptor och monokristallint kisel, vilket säkerställer produktion av konsekventa, högkvalitativa resultat.
Denna epitaxiprocess är avgörande för att skapa fotovoltaiska delar och stöder applikationer som GaN på SiC Epitaxi, vilket förbättrar den totala halvledareffektiviteten. Oavsett om det är i en Pancake Susceptor-konfiguration eller används i andra avancerade inställningar, erbjuder semiceras blå/gröna LED-epitaxilösningar pålitlig prestanda, vilket hjälper tillverkare att möta den växande efterfrågan på högkvalitativa LED-komponenter.
Huvudfunktioner:
1. Högtemperaturoxidationsbeständighet:
oxidationsmotståndet är fortfarande mycket bra när temperaturen är så hög som 1600 C.
2. Hög renhet: tillverkad av kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
3. Erosionsbeständighet: hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
4. Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Huvudspecifikationer förCVD-SIC Beläggning
| SiC-CVD-egenskaper | ||
| Kristallstruktur | FCC β-fas | |
| Densitet | g/cm³ | 3.21 |
| Hårdhet | Vickers hårdhet | 2500 |
| Kornstorlek | μm | 2~10 |
| Kemisk renhet | % | 99,99995 |
| Värmekapacitet | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimeringstemperatur | ℃ | 2700 |
| Felexural styrka | MPa (RT 4-punkts) | 415 |
| Youngs modul | Gpa (4pt böj, 1300 ℃) | 430 |
| Termisk expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Värmeledningsförmåga | (W/mK) | 300 |
