6 tum sic substrat av n-typ

Kort beskrivning:

6-tums n-typ SiC-substrat‌ är ett halvledarmaterial som kännetecknas av användningen av en 6-tums waferstorlek, vilket ökar antalet enheter som kan produceras på en enda wafer över en större yta, och därmed minskar kostnaderna på enhetsnivå . Utvecklingen och appliceringen av 6-tums n-typ SiC-substrat gynnades av utvecklingen av teknologier såsom RAF-tillväxtmetoden, som minskar dislokationer genom att skära kristaller längs dislokationer och parallella riktningar och återväxa kristaller, och därigenom förbättra kvaliteten på substratet. Appliceringen av detta substrat är av stor betydelse för att förbättra produktionseffektiviteten och minska kostnaderna för SiC-kraftenheter.

 


Produktdetaljer

Produkttaggar

Enkristallmaterial av kiselkarbid (SiC) har en stor bandgapbredd (~Si 3 gånger), hög värmeledningsförmåga (~Si 3,3 gånger eller GaAs 10 gånger), hög migrationshastighet för elektronmättnad (~Si 2,5 gånger), hög elektrisk nedbrytning fält (~Si 10 gånger eller GaAs 5 gånger) och andra enastående egenskaper.

Den tredje generationens halvledarmaterial inkluderar huvudsakligen SiC, GaN, diamant, etc., eftersom dess bandgapbredd (t.ex.) är större än eller lika med 2,3 elektronvolt (eV), även känd som bredbandsgaphalvledarmaterial. Jämfört med första och andra generationens halvledarmaterial har tredje generationens halvledarmaterial fördelarna med hög värmeledningsförmåga, högt elektriskt nedbrytningsfält, hög mättad elektronmigreringshastighet och hög bindningsenergi, vilket kan uppfylla de nya kraven för modern elektronisk teknik för hög temperatur, hög effekt, högt tryck, hög frekvens och strålningsmotstånd och andra svåra förhållanden. Det har viktiga tillämpningsmöjligheter inom områdena nationellt försvar, flyg, rymd, oljeprospektering, optisk lagring, etc., och kan minska energiförlusten med mer än 50% i många strategiska industrier som bredbandskommunikation, solenergi, biltillverkning, halvledarbelysning och smarta nät, och kan minska utrustningsvolymen med mer än 75 %, vilket är av milstolpe betydelse för utvecklingen av humanvetenskap och teknik.

Semicera energy kan förse kunder med högkvalitativt ledande (konduktivt), halvisolerande (halvisolerande), HPSI (High Purity semi-isolerande) kiselkarbidsubstrat; Dessutom kan vi förse kunder med homogena och heterogena epitaxialskivor av kiselkarbid; Vi kan också anpassa epitaxialarket efter kundernas specifika behov, och det finns ingen minsta beställningskvantitet.

GRUNDLÄGGANDE PRODUKTSPECIFIKATIONER

Storlek

 6-tums
Diameter 150,0 mm+0 mm/-0,2 mm
Ytorientering off-axel:4° mot<1120>±0,5°
Primär platt längd 47,5 mm 1,5 mm
Primär platt orientering <1120>±1,0°
Sekundär lägenhet Ingen
Tjocklek 350,0um±25,0um
Polytyp 4H
Konduktiv typ n-typ

KRISTALKVALITETSSPECIFIKATIONER

6-tums
Punkt P-MOS-betyg P-SBD betyg
Resistivitet 0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Polytyp Ingen tillåten
Mikrorördensitet ≤0,2/cm2 ≤0,5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (Mätt med UV-PL-355nm) ≤0,5 % yta ≤1 % yta
Hexplattor av högintensivt ljus Ingen tillåten
Visual Carbon Inclusions av högintensivt ljus Kumulativ area≤0,05 %
微信截图_20240822105943

Resistivitet

Polytyp

6 lnch n-typ sic substrat (3)
6 lnch n-typ sic-substrat (4)

BPD&TSD

6 lnch n-typ sic substrat (5)
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: