4″ 6″ 8″ ledande och halvisolerande substrat

Kort beskrivning:

Semicera har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa halvledarsubstrat, som är nyckelmaterial för tillverkning av halvledarenheter. Våra substrat är indelade i ledande och halvisolerande typer för att möta behoven hos olika applikationer. Genom att på djupet förstå de elektriska egenskaperna hos substrat hjälper Semicera dig att välja de mest lämpliga materialen för att säkerställa utmärkt prestanda vid tillverkning av enheter. Välj Semicera, välj utmärkt kvalitet som betonar både tillförlitlighet och innovation.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Enkristallmaterial av kiselkarbid (SiC) har en stor bandgapbredd (~Si 3 gånger), hög värmeledningsförmåga (~Si 3,3 gånger eller GaAs 10 gånger), hög migrationshastighet för elektronmättnad (~Si 2,5 gånger), hög elektrisk nedbrytning fält (~Si 10 gånger eller GaAs 5 gånger) och andra enastående egenskaper.

Den tredje generationens halvledarmaterial inkluderar huvudsakligen SiC, GaN, diamant, etc., eftersom dess bandgapbredd (t.ex.) är större än eller lika med 2,3 elektronvolt (eV), även känd som bredbandsgaphalvledarmaterial. Jämfört med första och andra generationens halvledarmaterial har tredje generationens halvledarmaterial fördelarna med hög värmeledningsförmåga, högt elektriskt nedbrytningsfält, hög mättad elektronmigreringshastighet och hög bindningsenergi, vilket kan uppfylla de nya kraven för modern elektronisk teknik för hög temperatur, hög effekt, högt tryck, hög frekvens och strålningsmotstånd och andra svåra förhållanden. Det har viktiga tillämpningsmöjligheter inom områdena nationellt försvar, flyg, rymd, oljeprospektering, optisk lagring, etc., och kan minska energiförlusten med mer än 50% i många strategiska industrier som bredbandskommunikation, solenergi, biltillverkning, halvledarbelysning och smarta nät, och kan minska utrustningsvolymen med mer än 75 %, vilket är av milstolpe betydelse för utvecklingen av humanvetenskap och teknik.

Semicera energy kan förse kunder med högkvalitativt ledande (konduktivt), halvisolerande (halvisolerande), HPSI (High Purity semi-isolerande) kiselkarbidsubstrat; Dessutom kan vi förse kunder med homogena och heterogena epitaxialskivor av kiselkarbid; Vi kan också anpassa epitaxialarket efter kundernas specifika behov, och det finns ingen minsta beställningskvantitet.

SPECIFIKATIONER FÖR WAFERING

*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande

Punkt

8-tums

6-tums

4-tums
nP n-Pm n-Ps SI SI
TTV(GBIR) ≤6um ≤6um
Bow(GF3YFCD)-Absolut värde ≤15μm ≤15μm ≤25μm ≤15μm
Warp(GF3YFER) ≤25μm ≤25μm ≤40μm ≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm <2μm
Wafer Edge Fasning

YTBEHANDLING

*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande

Punkt

8-tums

6-tums

4-tums

nP n-Pm n-Ps SI SI
Ytfinish Dubbelsidig Optisk Polish, Si- Face CMP
Ytråhet (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5nm
(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm
Edge Chips Ingen tillåten (längd och bredd≥0,5 mm)
Indrag Ingen tillåten
Repor (Si-Face) Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter
Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter
Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter
Sprickor Ingen tillåten
Kantexkludering 3 mm
第2页-2
第2页-1
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: