2~6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat

Kort beskrivning:

‌4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat‌ är ett specifikt halvledarmaterial, där "4° off-angle" hänvisar till att kristallorienteringsvinkeln för skivan är 4 grader off-vinkel, och "P-typ" avser halvledarens konduktivitetstyp. Detta material har viktiga tillämpningar inom halvledarindustrin, särskilt inom områdena kraftelektronik och högfrekvenselektronik.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Semiceras 2~6 tums 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat är konstruerade för att möta de växande behoven hos tillverkare av högpresterande kraft- och RF-enheter. Orienteringen på 4° avvikt vinkel säkerställer optimerad epitaxiell tillväxt, vilket gör detta substrat till en idealisk grund för en rad halvledarenheter, inklusive MOSFET, IGBT och dioder.

Detta 2~6 tums 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat har utmärkta materialegenskaper, inklusive hög värmeledningsförmåga, utmärkt elektrisk prestanda och enastående mekanisk stabilitet. Orienteringen från vinkeln hjälper till att minska mikrorörstätheten och främjar jämnare epitaxiella skikt, vilket är avgörande för att förbättra prestandan och tillförlitligheten hos den slutliga halvledarenheten.

Semiceras 2~6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat finns i en mängd olika diametrar, allt från 2 tum till 6 tum, för att möta olika tillverkningskrav. Våra substrat är exakt konstruerade för att ge enhetliga dopningsnivåer och högkvalitativa ytegenskaper, vilket säkerställer att varje wafer uppfyller de stränga specifikationer som krävs för avancerade elektroniska applikationer.

Semiceras engagemang för innovation och kvalitet säkerställer att våra 2~6 tums 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC-substrat levererar konsekvent prestanda i ett brett spektrum av applikationer från kraftelektronik till högfrekventa enheter. Denna produkt tillhandahåller en pålitlig lösning för nästa generation av energieffektiva, högpresterande halvledare, som stödjer tekniska framsteg inom industrier som fordon, telekommunikation och förnybar energi.

Storleksrelaterade standarder

Storlek

2-tums

4-tums

Diameter 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Ytorientering 4°mot<11-20>±0,5° 4°mot<11-20>±0,5°
Primär platt längd 16,0 mm±1,5 mm 32,5 mm±2 mm
Sekundär platt längd 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Primär platt orientering Parallellt med <11-20>±5,0° Parallellt<11-20>±5,0c
Sekundär platt orientering 90°CW från primär ± 5,0°, kisel vänd uppåt 90°CW från primär ± 5,0°, kisel vänd uppåt
Ytfinish C-Face: Optisk polsk, Si-Face: CMP C-Face: OpticalPolish, Si-Face: CMP
Wafer Edge Fasning Fasning
Ytjämnhet Si-Face Ra<0,2 nm Si-Face Ra<0,2nm
Tjocklek 350,0±25,0um 350,0±25,0um
Polytyp 4H 4H
Doping p-typ p-typ

Storleksrelaterade standarder

Storlek

6-tums
Diameter 150,0 mm+0/-0,2 mm
Ytorientering 4°mot<11-20>±0,5°
Primär platt längd 47,5 mm ± 1,5 mm
Sekundär platt längd Ingen
Primär platt orientering Parallellt med <11-20>±5,0°
SecondaryFlat Orientering 90°CW från primär ± 5,0°, silikon framsidan uppåt
Ytfinish C-Face: Optisk polsk, Si-Face: CMP
Wafer Edge Fasning
Ytjämnhet Si-Face Ra<0,2 nm
Tjocklek 350,0±25,0μm
Polytyp 4H
Doping p-typ

Raman

2-6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC substrat-3

Gungande kurva

2-6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC substrat-4

Dislokationsdensitet (KOH-etsning)

2-6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC substrat-5

KOH etsande bilder

2-6 tum 4° off-vinkel P-typ 4H-SiC substrat-6
SiC-skivor

  • Tidigare:
  • Nästa: