Wafer båt

Kort beskrivning:

Waferbåtar är nyckelkomponenter i halvledartillverkningsprocessen. Semiera kan tillhandahålla waferbåtar som är speciellt designade och producerade för diffusionsprocesser, som spelar en viktig roll vid tillverkning av högintegrerade kretsar. Vi är fast beslutna att tillhandahålla produkter av högsta kvalitet till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka e-post till oss

Produktdetaljer

Produkttaggar

Fördelar

Oxidationsbeständighet vid hög temperatur
Utmärkt korrosionsbeständighet
Bra nötningsbeständighet
Hög värmeledningskoefficient
Självsmörjbarhet, låg densitet
Hög hårdhet
Skräddarsydd design.

Ansökningar

-Slitstarkt fält: bussning, plåt, sandblästringsmunstycke, cyklonfoder, slippipa, etc...
-Högtemperaturfält: siC-platta, släckugnsrör, strålningsrör, degel, värmeelement, rulle, balk, värmeväxlare, kallluftsrör, brännarmunstycke, termoelementskyddsrör, SiC-båt, ugnsbilskonstruktion, sättare, etc.
-Silicon Carbide Semiconductor: SiC waferbåt, sic chuck, sic paddel, sic kassett, sic diffusionsrör, wafergaffel, sugplatta, styrbana, etc.
-Silicon Carbide Seal Field: alla typer av tätningsringar, lager, bussningar, etc.
- Fotovoltaiskt fält: fribärande paddel, slippipa, kiselkarbidrulle, etc.
- Litiumbatterifält

WAFER (1)

WAFER (2)

Fysiska egenskaper hos SiC

Egendom	Värde	Metod
Densitet	3,21 g/cc	Sink-float och dimension
Specifik värme	0,66 J/g °K	Pulserande laserblixt
Böjhållfasthet	450 MPa560 MPa	4-punktsböj, RT4-punktsböj, 1300°
Frakturseghet	2,94 MPa m1/2	Mikroindragning
Hårdhet	2800	Vicker's, 500g last
Elastic Modulus Youngs Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt böj, RT4 pt böj, 1300 °C
Kornstorlek	2 – 10 µm	SEM

Termiska egenskaper hos SiC

Värmeledningsförmåga	250 W/m °K	Laserblixtmetod, RT
Termisk expansion (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Rumstemperatur till 950 °C, kiseldioxiddilatometer

Tekniska parametrar

Punkt	Enhet	Data
Punkt	Enhet	RBSiC(SiSiC)	NBSiC	SSiC	RSiC	OSiC
SiC-innehåll	%	85	75	99	99,9	≥99
Gratis kiselinnehåll	%	15	0	0	0	0
Max servicetemperatur	℃	1380	1450	1650	1620	1400
Densitet	g/cm³	3.02	2,75-2,85	3.08-3.16	2,65-2,75	2,75-2,85
Öppen porositet	%	0	13-15	0	15-18	7-8
Böjhållfasthet 20℃	Мpa	250	160	380	100	/
Böjhållfasthet 1200℃	Мpa	280	180	400	120	/
Elasticitetsmodul 20℃	Gpa	330	580	420	240	/
Elasticitetsmodul 1200℃	Gpa	300	/	/	200	/
Värmeledningsförmåga 1200℃	W/mK	45	19.6	100-120	36,6	/
Termisk expansionskoefficient	K^-1X10^-6	4.5	4.7	4.1	4,69	/
HV	Kg/m^m2	2115	/	2800	/	/

CVD-kiselkarbidbeläggningen på den yttre ytan av omkristalliserade kiselkarbidkeramiska produkter kan nå en renhet på mer än 99,9999% för att möta behoven hos kunder inom halvledarindustrin.