SiC-platta är en slags 0 porositet tät kroppskeramik, som är baserad på SiC och sintrad vid 2250 ℃.SiC-innehållet är mer än 99,6%, böjhållfastheten är mer än 410mpa och värmeledningsförmågan är 140W / MK, det är det enda keramiska materialet som är resistent mot HF, H2SO4 och annan stark syrakorrosion.
Fördelar med kiselkarbidkeramik:
1, termisk expansionskoefficient är liten, mycket nära kisel;
2, utmärkt slitstyrka, hårdhet näst efter diamant;
3, utmärkt värmeledningsförmåga, hög temperaturbeständighet och snabb värmeavledning;
![Kiselkarbidchuck3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Tekniska parametrar
![图片1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)